물리화학과 반도체 가공공정을 가르치고 있는 서울대 김재정 교수는 지난달 차세대 반도체 개발에 기여한 공로로 한국과학기술 한림원이 주관하는 제3회 젊은과학자상을 수상했다. 김

교수는 반도체 공정의 핵심 분야인 고유전막을 이용한 축전지 제조공정과 금속 배선 공정에서 핵심 기술과 장비를 개발, 향후 금속 배선 공정의 방향을 제시했다는 평가를 받았다.

IBM의 세계적 기술을 능가하는 구리를 이용한 데마슨(Damascene)방식과 축전지 만드는 기 술 등 국내 특허 17건뿐만 아니라 해외 특허 14건을 보유하고 있는 김 교수는 현재 LG, 현 대전자, 한화 등과 함께 5개의 프로젝트를 진행중에 있다. 모두 반도체 공정과 관련된 것으 로 전기화학, 축전지, 평탄화 등 엔지니어링에 강한 프로젝트다. 또한 서울대 반도체공동연구소 표면 및 환경연구실장으로 있는 김 교수는 표면화학 프로젝트도 곧 시작할 예정이어서하루가 눈코 뜰 새 없이 바쁘다.

김 교수는 전자 재료 중에 환경이슈가 되는 것이 많아 반도체에 쓰이는 유해한 화학물을 덜 유해한 것으로 바꾸는 연구도 해 보고 싶다며 '환경'분야에 대한 포부도 밝혔다. 사용한 화 학물을 회수해서 무해한 화학물로 전환시키겠다는 것이다.

"지난 91년 LG에서 반도체 공정에 참여할 당시만 하더라도 화학전공은 저 혼자였습니다. 대부분 재료나 물리를 전공한 사람들이었죠. 하지만 최근 반도체 제조에 있어서 재료의 한 계에 도달함에 따라 응용화학 솔루션 제공이 절실하게 되었습니다"

김 교수는 반도체 공정에서 40%이상이 응용화학 전공자가 참여하는 것이 바람직하며 응용

화학이 반도체 제조의 중심으로 서는 것이 반도체 재료의 한계를 극복하는 길이라 말했다. 엘리트는 다른 사람에게 도움이 돼야 하고 과학자 또한 자신이 연구ㆍ개발하는 분야가 사회

적으로나 개인에게 도움이 돼야 한다는 김 교수. 벤처열풍에도 아랑곳하지 않고 연구할 수있을 때 연구해야 한다는 그의 연구정신이 더욱 빛난다.

leejs@unn.net<이진선 기자>