±Ô¸ð´Â ÀÛÁö¸¸ ±â°è°øÇаú´Â ¿ì¸®³ª¶ó À̰ø°è ºÐ¾ßÀÇ Áß¿äÇÑ À§Ä¡¸¦ Á¡Çϰí ÀÖ´Ù.
¿ì¸®³ª¶ó ÃÖÃÊÀÇ ERCÀΠ÷´ÜÀ¯Ã¼°øÇבּ¸¼¾Å͸¦ ½ÃÀÛÀ¸·Î °áÁýµÈ ¿¬±¸¿ª·®À» Ű¿ö¿ÔÀ¸¸ç, 2001³â¿¡´Â »õ·Î¿î ¿¬±¸ºÐ¾ßÀÎ MEMS/nano ºÐ¾ßÀÇ ¿¬±¸·ÂÀ» °ÈÇϱâ À§ÇØ MMS¼¾ÅÍ ¼³¸³Çß´Ù. ¶Ç Â÷¼¼´ë ÁÖ¿ä»ýÁ¸±â¼úÀΠȯ°æ¿¡³ÊÁö ºÐ¾ßÀÇ ¿¬±¸ Ȱ¼ºÈ¸¦ À§ÇØ Æ÷Ç×dz·Â¿¡³ÊÁö¿¬±¸¼Ò¸¦ ¼³¸³ÇÏ¸é¼ ±³¼öµéÀÇ ¿¬±¸¸¦ ÷´ÜÁßÁ¡ºÐ¾ß Áß½ÉÀ¸·Î ÁýÀûÇϵµ·Ï Çß´Ù. ±× °á°ú ÇöÀç 19¸íÀÇ ±³¼ö Áß 60% ÀÌ»óÀÇ ±³¼ö°¡ ºÎºÐÀûÀ¸·Î micro/nano ºÐ¾ßÀÇ ¿¬±¸¸¦ ¼öÇà, ±¹³»¡¤¿Ü¿¡¼ °¡Àå ³ôÀº ÷´Ü ºÐ¾ß ¿¬±¸±¸¼ººñ¸¦ °¡Áö°Ô µÇ¾ú´Ù.
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