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ÀÌÈ¿©´ë MEMS ¿ìÁÖ¸Á¿ø°æ ¿¬±¸´Ü(´ÜÀå ¹ÚÀÏÈï ±³¼ö¡¤
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ÀÌ¿¡ ºñÇØ 2003³â ·¯½Ã¾Æ ¸ð½ºÄÚ¹Ù°ø´ë ¿¬±¸ÁøÀÌ Ã³À½ Á¦¾ÈÇÑ ½Ç¸®ÄÜ ±¤Áõ¹è¼ÒÀÚ´Â »ó¿Â¿¡¼ ¼ö½Ê º¼Æ®ÀÇ Àü¾ÐÀ¸·Î ÀÛµ¿ÇÏ°í ¸Å¿ì ¾àÇÑ ºû±îÁö Á¤È®ÇÏ°Ô °¨ÁöÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ¡®²ÞÀÇ ±¤¼¾¼¡¯·Î ºÒ¸®¸ç ¼¼°è °¢±¹ÀÌ ±â¼ú È®º¸¸¦ À§ÇØ °æÀïÀûÀ¸·Î ÅõÀÚ¿¡ ³ª¼°í ÀÖ´Ù.

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¿À¸¥ÂÊ »çÁø)´Â 14VÀÇ ÀúÀü¾Ð¿¡¼ ÀÛµ¿Çϸç ÀâÀ½ÀÌ ±âÁ¸ ±¤¼¾¼º¸´Ù 100ºÐÀÇ1 Á¤µµ¿¡ ºÒ°úÇØ ·¯½Ã¾Æ ¿¬±¸Áø°ú ÀϺ»¡¤¾ÆÀÏ·£µå ±â¾÷ µîÀÌ °³¹ßÇÑ ±âÁ¸ ¼¾¼º¸´Ù ¼º´ÉÀÌ Å©°Ô Çâ»óµÆ´Ù.
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